Powatec GmbH

Adlyte AG entwickelt, konstruiert und betreibt Hochhelligkeits-Extrem‑Ultraviolett‑(EUV)-Lichtquellen auf Basis von lasererzeugtem Plasma (LPP) für die Halbleiterindustrie. Zum Produktportfolio gehören kompakte LPS‑ und leistungsfähige HPS‑Systeme mit Merkmalen wie getropften Zinnzielen, Trümmerschutz und Inline‑Überwachung für Anwendungen wie Maskeninspektion, Aerial Imaging und EUV‑Mikroskopie.